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장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술원
장비명
소자 Test용 진공 System (OLED Deposition system)
모델명
제작사(국가)
대한민국
제작년도
2012
용도
분석
분류
시험장비
취득일
2012.12.11
장비설명
유기물과 금속물질을 챔버내의 진공분위기에서 원하는 Rate로 두께를 조정하여 기판위에 박막을 형성시킴으로 유기발광소자를 제작할 수 있는 증착장비. 물질의 종류와 두께에 따라 소자의 발광 파장, 세기, 구동전압의 특성이 조금씩 달라지기 때문에 조건변화를 통해 최적화된 OLED 소자를 제작하기 위한 증착장비로 사용.
장비구성

성능
1. # of Organic Cell : 9 (PBN Crucible 4cc)
2. # of Metal Boat :
3 (Carbon BN Boat) 3. Layer Ununiformity : Organic Cell 3% 이내, Metal Boat 5% 이내
4. Pin Alignment : ±200um 이내
5. Base Vacuum Pressure : 5.00E-07 (With in 2hrs)
6. Pump : Rotary Pump & Cryo Pump
7. Max. Temperature : 500℃ (Organic Cell)
8. 메인 Controller, Crucible & Boat, Pump, Servo Motor, 2 Chaber Frame으로 구성
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
(재)철원플라즈마기업지원연구동
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529881
팩스
0334529883
사용방법
전화

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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